微机电系统（MEMS）是一种微型设备的制造技术，其中包含移动部件。在某些地区，该技术被称为微机械或微系统技术。MEMS起源于用于制造半导体器件的工艺技术。因此，硅是最常用的MEMS组件制造材料。MEMS技术在包括加速度计、陀螺仪、麦克风和各种传感器在内的众多商业应用中得到广泛应用。MEMS自2007年以来已作为石英晶体谐振器的替代品投入商业使用，并已实现大规模生产。有关更多信息，请参见SiTime的MEMS First™和EpiSeal™工艺技术论文。