SiTime的EpiSeal™工艺，作为实现MEMS谐振器稳定性的关键要素，在晶圆加工过程中为谐振器提供了密封保护，从而彻底摒弃了对陶瓷封装的依赖。SiTime的EpiSeal谐振器不受大气中最高浓度元素，氮和氧的影响，因此可以作为完美的密封之选。前几代EpiSeal谐振器可能受到大浓度小分子气体的影响。较新的EpiSeal谐振器不受所有小分子气体的影响。如果您计划在高浓度小分子气体中使用SiTime设备，敬请与我们联系，以便我们推荐合适的免疫部件。