SiTime MEMS振荡器精密地集成了MEMS谐振器和CMOS芯片，并采用了严格的半导体封装工艺。由于我们发货的MEMS产品至今尚未出现任何故障，无法具体统计MEMS的活化能(Ea)。因此，我们参照行业标准，设定CMOS的Ea为0.7 eV，作为产品的Ea。在评估产品的可靠性时，我们以设备中最脆弱的元件的Ea为准，以此计算产品的可靠性度量、FIT和MTBF的Ea。